兆声波清洗机

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核心物理与清洗优势

1、频率高、波长短（通常800kHz–3MHz），空化气泡极小、极多、极均匀，能量温和不冲击。

2、无损清洗：几乎无强空化冲击，零划伤、零损伤，保护超薄晶圆、低k介质、微凸点、TSV等脆弱结构。

3、纳米级清洁能力：可稳定去除0.1μm（100nm）以下亚微米/纳米颗粒，传统超声做不到。

4、声流主导、剪切力强：在表面形成极薄声学边界层，强力剥离微颗粒，深孔/高深宽比结构也能洗干净。

5、均匀性佳：声场分布均匀，无热点、无死角，整槽/整片晶圆清洗一致性好，良率高。

6、效率高：清洗时间大幅缩短（如10s达99.99%效率），产能提升。

技术参数：

功能特点

1、新款它激式线路，频率自动跟踪，工作稳定可靠，较以前的自激式震荡线路结构在输出功率增加15%以上。

2、采用进口日本本多陶瓷片组装换能器，电声转换率高达98%以上。

3、采用IGBT大功率模块控制，输出功率强大，使超声波使用寿命大幅提高，并有效保护换能器正常工作。超声波发生器有频率微调的功能，调整范围1%，换能效率达到最大，在不同工况下都能达到最佳效果。

4、采用高品质钣金技术及新式粘合技术和电路结构的优化，使设备的噪音比常规超声音量低26个分贝左右。

5、水槽采用316L优质不锈钢，厚度1.5mm,无缝焊接。水槽主体材质采用316型不锈钢板，厚度1.5mm,水槽无缝焊接，采用满焊工艺表面光滑洁净，没有卫生死角，连接管道也需采用316卫生级不锈钢管及配件，连接采用活接方式。

6、采用7寸高清液品显示屏触控操作，PLC控制有50组以上的清洗程序设定，屏幕实时显示时间、温度、功率、运行状态倒计时显示。

7、仪器具有超电流、超电压、超温报警功能，自动进水自动排水。

8、具备生产制造资质及认监委认证质量体系认证。产品获得CE及ROSH认证以及产品相关的生产执行标准，原件备查。